ИК-Фурье спектрометр инфракрасный ИНФРАСПЕК ФСМ1201П (специализированный).
ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201.
Он снабжён двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
Основные контролируемые параметры:
Преимущества:
Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.
Спектральный диапазон, см1 | 400...7800 |
Спектральное разрешение, см1 | 1, 2, 4 |
Диаметр светового пятна на образце, мм | 6 |
Размеры пластин, мм | 76, 100, 125, 150, 200 |
Точность позиционирования стола, мм | 0,5 |
Время стандартного измерения в одной точке, сек | 30...60 |
Потребляемая мощность, Вт | 95 |
Размеры спектрометра, мм | 670x650x250 |
Вес спектрометра, кг | 37 |