MiniLab 026 – компактная установка для напыления металлических и/или органических (OLED/PLED) покрытий. Является единственной установкой компании Moorfield, легко совместимой с уже существующим защитным перчаточным боксом. Модель MiniLab 026 отличается высокой эффективностью при небольших габаритах. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.
Рабочая камера |
Цилиндрическая камера из нержавеющей стали, высота-350мм, диаметр-300мм (внутренние размеры), с откидной крышкой для легкого доступа, 14x27мм порты для размещения устройств и источников, 1xNW40CF и 2x27мм – для вращения пластин, контроля температуры, нагрева пластин и др., 2xNW25KF порта для измерения давления и напуска газа, 1xNW63CF смотровое окно на передней двери (опция), NW100-ISOK порт для откачки. |
Источники |
До 3-х резистивных источников для термического испарения материалов, до 2-х низкотемпературных источников для напыления органических пленок, магнетрон. |
Подложки |
Быстросъемный столик для образцов размером до 150мм, устройство для вращения подложек. Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции). |