Модель nanoPVD S10A – компактная настольная установка, отличающаяся простотой использования и сохраняющая при этом высокое качество напыляемых покрытий. Разработана для осаждения металлических и неорганических покрытий (оксиды, нитриды и др.) с хорошей повторяемостью. Применение: обучение, исследования и разработки, осаждение тонких пленок.
Рабочая камера |
Нержавеющая сталь 304, цилиндрическая (высота-250мм, диаметр-225мм), CF63 фланец для подключения системы откачки со встроенным дросселирующим клапаном. Верхняя крышка камеры на петлях с портами для поворота и перемещения пластин, подвода мощности к устройству нагрева, подсоединению термопары и привода заслонки. Нижняя платформа камеры с 3-мя наклоненными угловыми портами для конфокального расположения источников - катодов; центральный порт для источника, порты для датчиков и подачи газа. |
Система откачки |
Турбомолекулярный, вентиляционный клапан, двухступенчатый пластинчато-роторный или сухой спиральный насос. Широкодиапазонный вакуумный датчик. |
Источники |
Магнетроны: 3х2”, 3x1” или один по центру |
Подложки |
Стандартный размер образца – до 2” (опционально – до 4”). Регулируемая скорость вращения подложек. Опционально - устройство нагрева пластин до 500°С. |